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MEMS煙霧氣體傳感器由基于MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體氣敏材料組成。當(dāng)環(huán)境空氣中有被檢測(cè)氣體存在時(shí)傳感器電導(dǎo)率發(fā)生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡(jiǎn)單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對(duì)應(yīng)的輸出信號(hào)。
傳感器特點(diǎn)
本品采用MEMS工藝，結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，對(duì)煙霧、丙烷靈敏度高；具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應(yīng)恢復(fù)快、驅(qū)動(dòng)電路簡(jiǎn)單、穩(wěn)定性好、壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。
主要應(yīng)用
廣泛適用于家庭用煙霧報(bào)警器、工業(yè)用煙霧報(bào)警器以及便攜式煙霧檢測(cè)儀器。
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