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Alicat的MCV質(zhì)量流量控制器是根據(jù)真空涂層和噴濺過程中所要求快速關(guān)閉功能而設(shè)計的。一個啟動截止閥是常閉的，并且保證一個大氣壓下氦氣泄露為1 x 10-9下有效的關(guān)閉。
MCV質(zhì)量流量控制器采用的是與其他alicat產(chǎn)品一樣的層流差壓式技術(shù)。在速度和精度需要計算時，MCV所體現(xiàn)的完美的精度和響應(yīng)時間。
Alicat 的MCV可以在響應(yīng)時間為50-100ms的條件下控制從0.5sccm的小流量到20slpm的大流量-響應(yīng)時間可以大大的改良你的終產(chǎn)品，并且?guī)椭懦`差。
每個MCV都是預(yù)先設(shè)定的30種校準(zhǔn)氣體和顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度。Alicat的MCV也可以直接通過設(shè)備的按鍵或者RS-232來編程設(shè)定，使用RS-232可以通過一對線串聯(lián)多26臺設(shè)備。
MCV供電電壓為12-30Vdc，單一輸入和輸出暴漏0-5Vdc。0-10Vdc、4-20mA和RS-232（可選PROFIBUS）
特點和優(yōu)點
· 響應(yīng)時間50-100ms
· 量程 0.5sccm-20slpm
· 模擬和數(shù)字通信（可選PROFIBUS）
· 30種預(yù)設(shè)定校準(zhǔn)氣體
· 精度±0.8% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度
· 可選高精度±0.4% 的讀數(shù)±0.2% 滿刻度
· 操作量程1%-100%
· 數(shù)字顯示質(zhì)量流量、體積流量、絕壓和溫度
· 無預(yù)熱時間
· 小巧設(shè)計，方便替換其他設(shè)備
· 保證標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下氦氣泄露1 x 10-9的氣動截止閥
· 終身維修
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